• MEB FEG JSM-7900F Jeol
• Deux systèmes EDS Bruker
  • un détecteur 6/30
  • un détecteur Flat QUAD

Microscope électronique à balayage Haute Résolution, 0.7 nm à 1kV et 15kV, équipé d’un spectromètre de rayons X par dispersion d’énergie (EDS).

Le détecteur Flat QUAD permet de réaliser des cartographies chimiques dans des temps d’acquisition très courts.

Contact : Julie Rousseau, Céline Boissard et Stéphanie Exiga

• MET STEM 2100 UHR 200kV Jeol (LaB6)

Microscope Haute Résolution, 0.14 nm, équipé d’un spectromètre à dispersion d’énergie JEOL JED 2200, d’un détecteur champ sombre annulaire grand angle HAADF, et d’une caméra CCD Gatan.
Possibilité d’utiliser un porte-objet chauffant.

Cet appareil permet de faire du TEM conventionnel (champ clair), de la Haute Résolution (HREM), de la Diffraction, du STEM (HAADF et Bright field), du DARK FIELD (champ sombre) et de l’EDS.

La microscopie électronique à transmission est une technique particulièrement puissante pour la caractérisation physico-chimique des matériaux, elle permet d’obtenir des informations sur la structure, la composition chimique, la morphologie de l’échantillon jusqu’à l’échelle atomique.

Le détecteur HAADF permet l’obtention d’une image en Z contraste. Il permet une analyse quantitative de la densité atomique projetée puisque l’intensité des images est directement liée au numéro atomique.

Contact : Julie Rousseau, Céline Boissard et Stéphanie Exiga

La microtomographie de rayons X est une technique numérique 3D non-invasive de visualisation et caractérisation de la structure interne des matériaux (résol. µm) se basant sur les interactions rayons X – matière.

L’acquisition des données consiste généralement en l’enregistrement à intervalle angulaire régulier d’une série de projections radiographiques numériques d’un échantillon en rotation. Ces données permettent la reconstruction mathématique d’une section et/ou d’un volume, véritables cartographies 2/3D en niveaux de gris des variations locales d’absorption du rayonnement X au sein de l’échantillon (i.e. la distribution des coefficients d’absorption  linéiques, fonction de l’énergie incidente des rayons X, de la densité locale et du numéro atomique des éléments traversés).

La structure interne de l‘échantillon peut dès lors être décortiquée qualitativement (transparence, coupes virtuelles, segmentation et extraction virtuelle) et quantitativement (mesures dimensionnelles, surfaciques, volumétriques).

Les deux systèmes disponibles à l’IC2MP permettent l’analyse d’échantillons de dimensions et constitutions très variés.

• Système EasyTom XL duo (2 sources ; 2 imageurs) :

– Tube fermé à réflexion Hamamatsu, microfoyer (taille de spot jusqu’à 5 microns), 150 kV, 75W, filament W;
– Tube ouvert à transmission Hamamatsu, nano-foyer, 160 kV, 8W, filaments W (taille de spot jusqu’à 0,75 µm) et LaB6 (taille de spot jusqu’à 0,25 µm);
– Capteur plan TFT silicium amorphe à détection indirecte avec scintillateur CsI  (1920×1536 ; 16bits ; taille du pixel = 127 µm) ;

– Caméra CCD Haute Résolution CSI (4008×2672 ; 14 bits ; taille du pixel = 9 µm)

– 6 axes motorisés dont table rotative ; distance tube-détecteur de 200 à 700 mm ; étendue de mouvement vertical de 200 mm ; support en granit
– Modes d’acquisition variés : classique, stack, agrandissement virtuel de l’imageur, hélicoïdal, binning, laminographie, …
– Accepte des échantillons jusqu’à 20 cm de diamètre avec un poids maximal de 20 kg ;
– Logiciel de reconstruction : XAct (RX solution).

 

• Système Viscom X8050-16 :

– Tube ouvert à réflexion Viscom, micro-foyer (taille de spot jusqu’à 5 microns), 160 kV, 100, filament W ;
– Détecteur numérique matriciel (Camera CCD 1004×1004, 12bits) couplé à un amplificateur de brillance 9 pouces – 3 modes d’amplification (taille du pixel : 80, 107, 147 µm) ;
– 4 axes motorisés dont table rotative ; distance tube-détecteur de 800 mm ; étendue de mouvement vertical de 300 mm ;
– Mode d’acquisition classique ;
– Accepte des échantillons jusqu’à 30 cm de diamètre avec un poids maximal de 15 kg;
– Logiciel de reconstruction : DigiCT (Digisens).

Contact : Arnaud Mazurier